在國(guó)內(nèi)，我國(guó)自50年代就開(kāi)始了粘貼應(yīng)變式壓力傳感器的研究，直到70年代，國(guó)內(nèi)壓力傳感器商品仍然以粘貼式和早期的機(jī)械式壓力傳感器為主。進(jìn)入80年代我國(guó)才開(kāi)始引進(jìn)生產(chǎn)線生產(chǎn)電容式壓力傳感器，并大量用于工控領(lǐng)域。同時(shí)期，電子部等單位自行開(kāi)發(fā)的擴(kuò)散硅壓力傳感器也形成小批量生產(chǎn)能力，但技術(shù)水平與國(guó)外同類產(chǎn)品相比有較大差距，主要表現(xiàn)在溫度性能、長(zhǎng)期穩(wěn)定度等技術(shù)指標(biāo)方面。

國(guó)內(nèi)濺射薄膜壓力傳感器的研究工作也始于80年代初期，如陜西晶體管廠、計(jì)量局等單位早有實(shí)驗(yàn)結(jié)果的文獻(xiàn)報(bào)道，但至今未形成規(guī)?；唐坊a(chǎn)，仍停留在實(shí)驗(yàn)和試制階段。90年代，國(guó)內(nèi)有研究機(jī)構(gòu)開(kāi)始采用離子束濺射方式制備濺射膜壓力傳感器并小量應(yīng)用于軍事裝備。

在國(guó)外，國(guó)外40年代發(fā)明了粘貼應(yīng)變式壓力傳感器，隨后幾十年，各國(guó)都致力于該產(chǎn)品中的粘貼劑和補(bǔ)償技術(shù)等方面的研究，使產(chǎn)品技術(shù)得到很大發(fā)展。70年代前后基本上取代了機(jī)械式的壓力傳感器，但是粘貼式應(yīng)變壓力傳感器中粘貼膠的弊端無(wú)法消除，產(chǎn)品性能受到限制。

60年代，荷蘭、法國(guó)等先后提出了薄膜壓力傳感器的開(kāi)發(fā)設(shè)想，即利用薄膜技術(shù)將應(yīng)變電阻直接制作在彈性材料上，代替粘貼工藝，但當(dāng)時(shí)受到設(shè)備和工藝的限制，該技術(shù)的發(fā)展較慢。同時(shí)期電容式壓力傳感器和擴(kuò)散硅壓力傳感器得到迅速發(fā)展，產(chǎn)品在工業(yè)過(guò)程控制、汽車、衡器等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用。

由于電容式壓力傳感器體積笨重，抗振動(dòng)、沖擊等惡劣環(huán)境能力差，而擴(kuò)散硅壓力傳感器存在溫度漂移大的致命弱點(diǎn)，使各發(fā)達(dá)國(guó)家自70年代以后又加大了對(duì)薄膜壓力傳感器的研究投入。荷蘭Could公司首先報(bào)導(dǎo)了研究結(jié)果；壓力傳感器連續(xù)工作8年，零點(diǎn)漂移小于千分之一。70年代中期，美國(guó)、法國(guó)報(bào)道了利用陰極蒸發(fā)等工藝制造薄膜壓力傳感器的技術(shù)成果。80年代后， 德國(guó)、俄羅斯等國(guó)也相繼報(bào)道了利用磁控濺射等方法制造的產(chǎn)品成果，薄膜壓力傳感器的優(yōu)良性能得到世界傳感器行家的公認(rèn)。

目前，薄膜壓力傳感器在國(guó)外主要用于軍事（如美國(guó)用于阿波羅飛船、俄羅斯于用聯(lián)盟號(hào)飛船和暴風(fēng)雪-—能源號(hào)航天飛機(jī)、法國(guó)用于阿迪亞娜運(yùn)載火箭）、核工業(yè)、油井等惡劣環(huán)境，正推廣應(yīng)用于工控、船舶、機(jī)械等其它領(lǐng)域。

近幾年來(lái)，我國(guó)壓力傳感器制造技術(shù)雖有長(zhǎng)足的進(jìn)步，但縱觀全局，我國(guó)壓力傳感器的整體水平與國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家比仍有較大差距，一些核心制造工藝技術(shù)還嚴(yán)重滯后于國(guó)外。所以有不少國(guó)內(nèi)傳感器制造單位主要依靠進(jìn)口國(guó)外關(guān)鍵器件（如壓力芯片）進(jìn)行組裝。更多的公司、企業(yè)則主要從事國(guó)外產(chǎn)品的推銷和代理，顯然，這是一種純粹的商業(yè)行為，對(duì)國(guó)內(nèi)傳感器的發(fā)展不能起積極作用。

從技術(shù)角度看，目前市場(chǎng)上常見(jiàn)的有擴(kuò)散硅式、差壓電容式、陶瓷壓阻式、金屬應(yīng)變片粘貼式等多個(gè)品種。濺射薄膜式壓力變送器的一大突出特點(diǎn)是受溫度影響小。在溫度變化100℃時(shí)，零點(diǎn)漂移僅為0.5%。其溫度性能遠(yuǎn)優(yōu)于擴(kuò)散硅式壓力變送器，由于濺射式以惠斯頓電橋與彈性不銹鋼膜片間有很好的匹配并成為一體，而不存在任何膠粘劑。所以比粘貼式應(yīng)變片傳感器顯示出高的長(zhǎng)期穩(wěn)定性與可靠性。國(guó)內(nèi)壓力傳感器仍處于落后水平，在壓力傳感器的生產(chǎn)環(huán)節(jié)中存在“瓶頸”現(xiàn)象，研制和生產(chǎn)的水平不高，造成主要性能指標(biāo)和國(guó)外有較大差距，特別是穩(wěn)定性可靠性問(wèn)題沒(méi)有得到根本解決，有人稱這為是“國(guó)產(chǎn)壓力傳感器的硬傷”，極大地限制了國(guó)產(chǎn)壓力傳感器的使用范圍和可信程度，有些高性能產(chǎn)品不是靠工藝保證，而是靠篩選、試用。由于質(zhì)量沒(méi)有保證，許多需要高性能的壓力傳感器還不得不依賴進(jìn)口，在一些重大工程如化工、電站、冶金、石油、環(huán)保、機(jī)械等領(lǐng)域中，目前仍有較大壓力傳感器依賴進(jìn)口。這種情況，無(wú)疑對(duì)國(guó)產(chǎn)武器裝備的研制和保障是極不利的。

目前，國(guó)內(nèi)現(xiàn)有離子束濺射技術(shù)淀積薄膜小批生產(chǎn)薄膜壓力傳感器產(chǎn)品，少量提供軍品。與國(guó)外技術(shù)水平的差距，主要表現(xiàn)在薄膜壓力芯片性能難以兼顧高溫范圍和低溫范圍，質(zhì)量難以控制等方面。究其原因，主要是對(duì)薄膜壓力芯片制作這個(gè)關(guān)鍵工藝沒(méi)有吃透，要解決薄膜壓力芯片制作中的關(guān)鍵問(wèn)題、關(guān)鍵技術(shù)，才有可能徹底提薄膜壓力高傳感器的穩(wěn)定性和可靠性。本文源自澤天傳感，版權(quán)所有，轉(zhuǎn)載請(qǐng)保留出處。